टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य
टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य
FANMETAL आपूर्ति शुद्ध 99.999 प्रतिशत टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य। शुद्धता 99.5 प्रतिशत से 99.9999 प्रतिशत तक। वर्तमान में, 4-मेगाबिट वीएलएसआई के लिए, टाइटेनियम की शुद्धता 4N5 (99.995 प्रतिशत) ~ 5N (99.999 प्रतिशत) तक पहुंचने की आवश्यकता है, जबकि 16-मेगाबिट तीसरी पीढ़ी के वीएलएसआई को टाइटेनियम की शुद्धता की आवश्यकता होती है। 6N (99.9999 प्रतिशत) के स्तर तक पहुँचने के लिए।
हम उच्च शुद्धता 99.9999 प्रतिशत, कीमती धातु लक्ष्य (एयू, एजी, पीटी), लक्ष्य बंधन सेवा, क्रूसिबल लाइनर (तांबा, मोलिब्डेनम, टंगस्टन आदि) के लिए धातु लक्ष्य और वाष्पीकरण सामग्री भी प्रदान करते हैं।
टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य चित्र:


टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य के मुख्य अनुप्रयोगों में शामिल हैं:
1. जैविक सामग्री
टाइटेनियम एक गैर-चुंबकीय धातु है और इसे एक मजबूत चुंबकीय क्षेत्र में चुंबकित नहीं किया जाएगा। इसकी मानव शरीर के साथ अच्छी संगतता है और इसका कोई विषाक्त दुष्प्रभाव नहीं है। इसका उपयोग मानव प्रत्यारोपण उपकरणों के निर्माण के लिए किया जा सकता है। आम तौर पर, चिकित्सा टाइटेनियम सामग्री उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम के स्तर तक नहीं पहुंचती है, लेकिन टाइटेनियम में अशुद्धियों के विघटन को देखते हुए, प्रत्यारोपण के लिए टाइटेनियम की शुद्धता यथासंभव अधिक होनी चाहिए। साहित्य में यह भी उल्लेख है कि उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम तार का उपयोग जैविक स्ट्रैपिंग सामग्री के रूप में किया जा सकता है। इसके अलावा, एम्बेडेड कैथेटर के साथ टाइटेनियम इंजेक्शन सुई भी उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम स्तर तक पहुंच गई है।
2. सजावट सामग्री
उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम में उत्कृष्ट वायुमंडलीय संक्षारण प्रतिरोध होता है, और टाइटेनियम के मूल रंग को सुनिश्चित करते हुए, वातावरण में लंबे समय तक उपयोग के बाद रंग नहीं बदलेगा। इसलिए, उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम का उपयोग सजावट सामग्री के निर्माण के रूप में भी किया जा सकता है। इसके अलावा, हाल के वर्षों में, कुछ उच्च अंत सजावट और कुछ पहने हुए लेख, जैसे कंगन, घड़ियां और तमाशा फ्रेम, टाइटेनियम से बने होते हैं, जो संक्षारण प्रतिरोध, मलिनकिरण, अच्छी चमक के दीर्घकालिक रखरखाव की विशेषताओं का उपयोग करता है, और मानव त्वचा के संपर्क में गैर-संवेदीकरण। कुछ सजावट में प्रयुक्त टाइटेनियम की शुद्धता 5N स्तर तक पहुंच गई है।
3. महाप्राण सामग्री
टाइटेनियम, रासायनिक गुणों के साथ एक बहुत सक्रिय धातु के रूप में, उच्च तापमान पर कई तत्वों और यौगिकों के साथ प्रतिक्रिया कर सकता है। उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम में सक्रिय गैसों (जैसे O2, N2, CO, CO2, और 650 डिग्री से ऊपर जल वाष्प) का एक मजबूत सोखना होता है। पंप की दीवार पर वाष्पित होने वाली Ti फिल्म उच्च सोखना क्षमता वाली सतह बना सकती है। यह संपत्ति टीआई को अल्ट्रा-हाई वैक्यूम पंपिंग सिस्टम में गेटटर के रूप में व्यापक रूप से उपयोग करती है। यदि उच्च बनाने की क्रिया पंपों, स्पटरिंग आयन पंपों आदि में उपयोग किया जाता है, तो स्पटरिंग आयन पंप का अंतिम कार्य दबाव 10-9Pa जितना कम हो सकता है।
4. इलेक्ट्रॉनिक सूचना सामग्री
हाल के वर्षों में, अर्धचालक प्रौद्योगिकी और सूचना प्रौद्योगिकी जैसे उच्च तकनीक वाले क्षेत्रों के तेजी से विकास के साथ, स्पटरिंग लक्ष्य (चित्र 1 देखें), एकीकृत सर्किट, डीआरएएम और फ्लैट पैनल डिस्प्ले में उपयोग किए जाने वाले उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम की मात्रा में वृद्धि हुई है। सामग्रियों की शुद्धता की आवश्यकताएं अधिक से अधिक होती जा रही हैं। सेमीकंडक्टर वीएलएसआई उद्योग में, टाइटेनियम सिलिकॉन यौगिकों, टाइटेनियम नाइट्रोजन यौगिकों, टंगस्टन टाइटेनियम यौगिकों आदि का उपयोग नियंत्रण इलेक्ट्रोड के लिए प्रसार बाधाओं और तारों की सामग्री के रूप में किया जाता है। इन सामग्रियों के निर्माण के लिए स्पटरिंग विधि का उपयोग किया जाता है, और स्पटरिंग विधि में उपयोग किए जाने वाले टाइटेनियम लक्ष्य को विशेष रूप से क्षार धातु तत्वों और रेडियोधर्मी तत्वों के लिए उच्च शुद्धता की आवश्यकता होती है।
हाल के वर्षों में, इसके मिलान वाले स्पटरिंग उपकरण ने भी स्पटरिंग टाइटेनियम लक्ष्य के समान शुद्धता वाले उच्च शुद्धता वाले टाइटेनियम का उपयोग करना शुरू कर दिया है।
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