1. पवित्रता
टाइटेनियम लक्ष्य की शुद्धता का थूक वाली फिल्मों के गुणों पर बहुत प्रभाव पड़ता है। लक्ष्य की शुद्धता जितनी अधिक होगी, थूक वाली फिल्म में अशुद्धता तत्व कण उतने ही कम होंगे, और फिल्म का प्रदर्शन (जैसे संक्षारण प्रतिरोध, ऑप्टिकल और विद्युत गुण) उतना ही बेहतर होगा। व्यावहारिक अनुप्रयोगों में, विभिन्न उद्देश्यों के लिए टाइटेनियम लक्ष्यों की शुद्धता की आवश्यकताएं अलग-अलग होती हैं। . उदाहरण के लिए, सामान्य सजावटी कोटिंग्स के लिए लक्ष्यों की शुद्धता आवश्यकताओं की मांग नहीं की जा रही है, जबकि एकीकृत सर्किट, डिस्प्ले बॉडी और अन्य क्षेत्रों के लक्ष्यों में शुद्धता के लिए बहुत अधिक आवश्यकताएं हैं, आमतौर पर लगभग 99.999 प्रतिशत या उससे अधिक।
2. औसत अनाज का आकार
आमतौर पर टाइटेनियम लक्ष्य में एक पॉलीक्रिस्टलाइन संरचना होती है, और दाने का आकार माइक्रोन से लेकर मिलीमीटर तक हो सकता है। बारीक आकार के अनाज लक्ष्य की फूटने की दर मोटे अनाज वाले लक्ष्य की तुलना में तेज़ होती है। स्प्रे जमा फिल्म का मोटाई वितरण भी अपेक्षाकृत समान है। एकीकृत सर्किट के लिए टाइटेनियम लक्ष्य का औसत अनाज आकार आम तौर पर 30 माइक्रोन के भीतर होना आवश्यक है, और अल्ट्राफाइन-दानेदार टाइटेनियम लक्ष्य का औसत अनाज आकार 10 माइक्रोन से नीचे है।
3. क्रिस्टल ओरिएंटेशन
टाइटेनियम में एक क्लोज-पैक हेक्सागोनल संरचना होती है। स्पटरिंग के दौरान, टाइटेनियम लक्ष्य परमाणु परमाणुओं की हेक्सागोनल व्यवस्था की दिशा में आसानी से स्पटर हो जाते हैं। इसलिए, उच्चतम स्पटरिंग दर प्राप्त करने के लिए, लक्ष्य की क्रिस्टल संरचना को बदलकर स्पटरिंग दर को बढ़ाना संभव है। स्पटरिंग दर. टाइटेनियम लक्ष्य के क्रिस्टलीकरण की दिशा का थूक वाली फिल्म परत की मोटाई एकरूपता पर भी बहुत प्रभाव पड़ता है, और फ्लैट डिस्प्ले और सजावटी कोटिंग का फिल्म आकार अपेक्षाकृत मोटा होता है, इसलिए संबंधित टाइटेनियम लक्ष्य के अनाज अभिविन्यास की आवश्यकताएं होती हैं अपेक्षाकृत कम।
4. ज्यामिति और आकार
यह मुख्य रूप से प्रसंस्करण सटीकता और प्रसंस्करण गुणवत्ता में परिलक्षित होता है, जैसे प्रसंस्करण आकार, सतह समतलता, खुरदरापन, आदि। छोटी मोटाई लक्ष्य के सेवा जीवन को प्रभावित करेगी; बहुत खुरदरी सीलिंग सतह और सीलिंग ग्रूव लक्ष्य स्थापित होने के बाद वैक्यूम की समस्या पैदा करेगा; लक्ष्य की स्पटरिंग सतह को खुरदरा करने से लक्ष्य की सतह उभरी हुई युक्तियों से भरी हो सकती है, टिप प्रभाव की कार्रवाई के तहत, इन उभरी हुई युक्तियों की क्षमता काफी बढ़ जाएगी, जिससे ढांकता हुआ निर्वहन टूट जाएगा। हालाँकि, अत्यधिक बड़ा उभार स्पटरिंग की गुणवत्ता और स्थिरता के लिए हानिकारक है।
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