टंगस्टन आयन प्रत्यारोपण भाग

टंगस्टन आयन प्रत्यारोपण भाग विवरण

आयन आरोपण सामग्री सतह संशोधन की एक नई तकनीक है, जो सामग्री की सतह गुणों को अनुकूलित कर सकती है या कुछ नए उत्कृष्ट गुण प्राप्त कर सकती है, और अर्धचालक और एकीकृत सर्किट निर्माण में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। क्योंकि टंगस्टन सामग्री में उच्च घनत्व, उच्च गलनांक, स्थिर उच्च तापमान रासायनिक गुण, छोटे तापीय विकृतीकरण, अच्छी तापीय चालकता और लंबी सेवा जीवन के फायदे हैं, यह अर्धचालक उद्योग में आयन प्रत्यारोपण के लिए आयन स्रोतों और उपभोग्य सामग्रियों के लिए पहली पसंद बन गया है। . टंगस्टन आयन प्रत्यारोपण भाग आमतौर पर पाउडर धातुकर्म प्रौद्योगिकी द्वारा बनाया जाता है, और आम तौर पर इसमें उत्सर्जन कैथोड, उत्सर्जन पैनल, केंद्र निश्चित रॉड और आर्क दीक्षा कक्ष में फिलामेंट प्लेट का परिरक्षण सिलेंडर शामिल होता है। टंगस्टन आयन प्रत्यारोपण भाग का व्यापक रूप से एयरोस्पेस, वैज्ञानिक प्रयोगों, धातु प्रसंस्करण, उच्च तापमान भट्ठी, नीलमणि शोधन उद्योग और सिरेमिक उद्योग में उपयोग किया जा सकता है।

टंगस्टन आयन प्रत्यारोपण भाग विशिष्टताएँ:

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